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光刻技術(關于光刻技術的簡介)

2022-07-16 15:01:50 編輯:管伯瑞 來源:
導讀 大家好,光刻技術,關于光刻技術的簡介很多人還不知道,現(xiàn)在讓我們一起來看看吧!1、光刻技術是指集成電路制造中利用光學-化學反應原理和化

大家好,光刻技術,關于光刻技術的簡介很多人還不知道,現(xiàn)在讓我們一起來看看吧!

1、光刻技術是指集成電路制造中利用光學-化學反應原理和化學、物理刻蝕方法,將電路圖形傳遞到單晶表面或介質(zhì)層上,形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術。

2、光刻技術成為一種精密的微細加工技術。

3、隨著半導體技術的發(fā)展,光刻技術傳遞圖形的尺寸限度縮小了2~3個數(shù)量級(從毫米級到亞微米級),已從常規(guī)光學技術發(fā)展到應用電子束、X射線、微離子束、激光等新技術;使用波長已從4000埃擴展到0.1埃米數(shù)量級范圍。

4、光刻技術成為一種精密的微細加工技術。

本文關于光刻技術的簡介就講解完畢,希望對大家有所幫助。


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