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大家好,射頻微電子,關(guān)于射頻微電子的簡(jiǎn)介很多人還不知道,現(xiàn)在讓我們一起來(lái)看看吧!
1、中國(guó)科學(xué)院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組從1984年開(kāi)始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz)。
2、1985年研制成功。
3、獲得“六五”攻關(guān)榮譽(yù)證書(shū)以及“FD-2反應(yīng)離子刻蝕機(jī)與超精細(xì)刻蝕研究”項(xiàng)目二等獎(jiǎng)。
本文關(guān)于射頻微電子的簡(jiǎn)介就講解完畢,希望對(duì)大家有所幫助。
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